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VACOM 真空組件 法蘭 超高真空(UHV)的產生對材料和連接提出了很高的要求。因此,CF標準是在特高壓技術(ISO 3669)中創(chuàng)建的。 CF法蘭由CNC機床上的不銹鋼圓形毛坯制成。旋轉法蘭是兩部分的,由帶有密封面的內部部分和帶有螺栓孔的外部部分組成。CF法蘭在真空側有一個環(huán)形槽,用于容納墊圈和刀口。